[製品カタログ]小型空圧サーボ弁：半導体製造工程の除振や圧力制御

ノズルフラッパ型 小型空圧サーボ弁 J814シリーズ
グローバルな半導体製造の需要増へ高応答な空圧サーボ弁
空圧サーボ技術のメリット
• 既設の空圧源を利用可能
• 力制御が容易
• 使用温度範囲が広い

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