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[製品カタログ]小型空圧サーボ弁：半導体製造工程の除振や圧力制御

ノズルフラッパ型 小型空圧サーボ弁 J814シリーズ
グローバルな半導体製造の需要増へ高応答な空圧サーボ弁
空圧サーボ技術のメリット
• 既設の空圧源を利用可能
• 力制御が容易
• 使用温度範囲が広い

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[製品カタログ]サーボ弁の選定ガイド

本書は、サーボ弁の、2つの重要なパラメータを決定する際のガイドとなるものです。
● コントロール・パワーまたは流量
● 周波数応答
この2つのパラメータの兼ね合いにより、必要なサーボ弁の形式が決まります。

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[製品カタログ]超高圧型サーボ弁 J634シリーズ

本資料は70MPaの超高圧に対応したサーボ弁 J634シリーズの製品カタログです。

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[製品カタログ] デジタルコントロールバルブ D636/D637シリーズ

本書はD636型およびD637型デジタルコントロールバルブの製品カタログです。

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デジタルコントロールバルブ DCV/ACV

本資料は最新のデジタルエレクトロニクスを搭載したデジタルコントロールバルブ（DCV）と、バルブエレクトロニクスを用いてアクチュエータのクローズドループ制御まで行えるアクシスコントロールバルブ（ACV）の特長を説明した資料です。DCV/ACVはデジタルエレクトロニクスによりバルブの高性能化を図るとともに、フィールドバス通信による省配線化とリモート接続によるIoT化を可能にしています。

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高性能メカニカルフィードバックサーボ弁 - サイズと仕様設定

本資料は高性能2段型デザインのメカニカルフィードバック式流量制御弁のラインアップならびに仕様を一覧表にした資料です。

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日本ムーグ　５０周年記念資料

日本ムーグは2020年12月9日をもって設立50周年を迎えることが出来ました。本資料は、日本ムーグの歴史から、日本ムーグの進化までを掲載した資料です。

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サーボ弁メーカーによる正規メンテナンスと修理の特徴とメリット ・標準修理作業工程（概要）

本資料はサーボ弁の修理に関する基本的な情報として、故障事例や修理工程などの情報をまとめた資料です。
・主な故障事例
・サーボ弁に使用されている各部品の交換目安
・弊社での標準的な修理作業工程
・サーボ弁メーカにより修理を行うメリット

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電気油圧式バルブの技術展望

このガイドブックの最初の章では、現在ムーグが提供している下記の種類のバルブを説明しています。
・サーボ弁と比例弁
・直動式バルブとパイロット式バルブ
・電気フィードバック（EFB）および機械フィードバック（MFB：メカニカルフィードバック）バルブ アナログおよびデジタルエレクトロニクス制御バルブ
・流量制御、圧力制御、軸制御用バルブ

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